多项选择题
A.时序信息 B.逻辑功能信息 C.功耗信息 D.面积信息
表面平垣化的方式有很多种，效果最好的方式是（）A.Ar回蚀法B.PSG或BPSG的热回流C.SOG回蚀法D.化...
单项选择题表面平垣化的方式有很多种，效果最好的方式是（）
A.Ar回蚀法 B.PSG或BPSG的热回流 C.SOG回蚀法 D.化学机械抛光
在大马士革铜工艺中，铜薄膜通常采用（）方式获得。A.物理气相沉积B.化学气相沉积C.电化学镀D.热氧化
单项选择题在大马士革铜工艺中，铜薄膜通常采用（）方式获得。
A.物理气相沉积 B.化学气相沉积 C.电化学镀 D.热氧化
在0.13um集成电路技术中，铜取代铝成为最主要的互连金属的主要原因是（）A.铜具有更高的导电率B.铜具有更低...
单项选择题在0.13um集成电路技术中，铜取代铝成为最主要的互连金属的主要原因是（）
A.铜具有更高的导电率 B.铜具有更低的导电率 C.铜更容易刻蚀加工 D.铜具有更好热导率
