通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。

填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。

在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

填空题在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。