名词解释
在一定的温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固态或液态平衡时所表现出来的压力。
真空蒸发
名词解释真空蒸发
物理气相淀积（pvd）
名词解释物理气相淀积（pvd）
RTA（RTP）
名词解释RTA（RTP）
