铜互连金属多层布线中，磨料的粒径一般为（）。

在酸性浆料中，最常使用的氧化剂为（）。A.硝酸 B.硝酸铜 C.硫酸 D.磺酸

单项选择题在酸性浆料中，最常使用的氧化剂为（）。

在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。A.二氧化锰B.铝C.氧化铬D.金...

单项选择题在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。

金相学的研磨之所以会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中（）。A.氧化铬磨料溶水制成的研磨液B.使用羊毛...

单项选择题金相学的研磨之所以会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中（）。