问答题
反射切口：在刻蚀形成的垂直侧墙表面，反射光入射到不需要曝光的光刻胶中就会形成反射切口驻波：入射光与反射光发射......
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简述正胶和负胶显影效果
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简述光刻胶的概念及目的
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简述离子注入设备的五个主要子系统
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