薄膜的组织结构是指它的结晶形态，其结构分为四种类型：无定形结构，多晶结构，纤维结构，单晶结构。

表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。

判断题表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。

在气体成分和电极材料一定条件下，起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。

判断题在气体成分和电极材料一定条件下，起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。

薄膜形成与生长的三种模式：层状生长，岛状生长，层状-岛状生长。

判断题薄膜形成与生长的三种模式：层状生长，岛状生长，层状-岛状生长。