问答题
当注入离子未与硅原子碰撞减速，而是穿透了晶格间隙时，就发生了沟道效应。三种机制：1.倾斜硅片：它......
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列举离子注入设备的5个主要子系统。
问答题列举离子注入设备的5个主要子系统。
离子注入的主要缺点是什么？如何克服？
问答题离子注入的主要缺点是什么？如何克服？
列举离子注人优于扩散的7点。
问答题列举离子注人优于扩散的7点。
