问答题
1.精确控制杂质含量。2.很好的杂质均匀性。3.对杂质穿透深度有很好的控制。4.产生......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
离子注入通常在什么工艺之后?
问答题离子注入通常在什么工艺之后?
列举用于硅片制造的5种常用掺杂。
问答题列举用于硅片制造的5种常用掺杂。
列出并阐述刻蚀多晶硅的三个步骤。
问答题列出并阐述刻蚀多晶硅的三个步骤。