多项选择题
A.高电阻率； B.高化学稳定性； C.低介电常数； D.高介电强度。
微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-20...
单项选择题微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-2001中，100级的含义是：每立方米空气中大于等于0.1m的悬浮粒子的最大允许个数为（）
A.35； B.100； C.102； D.237。
侧墙用来环绕多晶硅栅，防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。
判断题侧墙用来环绕多晶硅栅，防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。
离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度，因而在几乎所有应用中都优于扩散。
判断题离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度，因而在几乎所有应用中都优于扩散。
