名词解释
占据晶格位置的外来原子称为替位杂质。只有当替位杂质的近邻晶格上出现空位，替位杂质才能比较轻易地运动到近邻空位上。
蒸发镀膜
名词解释蒸发镀膜
溅射镀膜
名词解释溅射镀膜
物理气相沉积
名词解释物理气相沉积
