多项选择题
A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光C.钨塞制程中作为钨的粘附层D.提升刻蚀的速率和均匀性
在线使用的靶材主要有（）。A.AlSiB.Ti/TiNC.AlCuD.纯Al
多项选择题在线使用的靶材主要有（）。
A.AlSiB.Ti/TiNC.AlCuD.纯Al
需要监控的参数包括（）。A.膜的晶粒B.膜的厚度C.膜的均匀性D.膜的反射率
多项选择题需要监控的参数包括（）。
A.膜的晶粒B.膜的厚度C.膜的均匀性D.膜的反射率
PVD有哪些种类？（）A.蒸镀B.溅镀C.电镀D.焊镀
多项选择题PVD有哪些种类？（）
A.蒸镀B.溅镀C.电镀D.焊镀
