填空题

半导体器件隔离的种类有:();()和()三种。P-N结隔离适合()的器件。目前大多数CMOS器件采用()隔离,绝缘介质场区氧化层采用()工艺生长。

【参考答案】

P-N结隔离;介质隔离;沟槽隔离;低密度、低成本;介质;局部氧化(LOCOS)