判断题
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手动贴膜机晶圆边缘胶膜余量允许值为0.5±0.5um。
判断题手动贴膜机晶圆边缘胶膜余量允许值为0.5±0.5um。
空气干燥机运行温度设定指示在25~30℃范围。
判断题空气干燥机运行温度设定指示在25~30℃范围。
空气干燥机运行压力值在0.45±0.05Mpa范围。
判断题空气干燥机运行压力值在0.45±0.05Mpa范围。
