问答题
利用放电产生的游离基与材料发生化学反应，形成挥发物，实现刻蚀。选择性好、对衬底损伤较小，但各向异性较差。
简述溅射与离子束铣蚀。
问答题简述溅射与离子束铣蚀。
什么是干法刻蚀？
问答题什么是干法刻蚀？
简述湿法刻蚀。
问答题简述湿法刻蚀。
