问答题
主要指利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离基（处于激发态的分子、原子及各种原子基团等）与材料发生化学反应或通过轰击等......
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简述湿法刻蚀。
问答题简述湿法刻蚀。
什么是刻蚀技术？
问答题什么是刻蚀技术？
对光刻的基本要求有哪些？
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