问答题
Al/Si接触时，Si在Al膜的晶粒间界中快速扩散而离开接触孔的同时，Al就向接触孔内运动，填充因Si离开而留下的空间。......
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金属在IC中的作用有哪些？
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Al膜制备方法有？
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IC对金属材料特性有何要求？
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