多项选择题
A.目检工作台表面是否有不平突起或粗糙 B.检查绷膜环定位是否正常 C.检查绷膜环固定是否正常 D.工作台真空正常
PG3000RMX减薄机空气干燥机检查完好标准方法为（）。A.电源指示灯亮B.压力指示稳定在0.55±0.05...
多项选择题PG3000RMX减薄机空气干燥机检查完好标准方法为（）。
A.电源指示灯亮 B.压力指示稳定在0.55±0.05MPa范围 C.温度显示在25-30度 D.干燥机无异常声音
PG3000RMX减薄机清洗台检查项目方法为（）。A.检查喷水吹气位置是否正确B.查看吸盘表面是否干净C.工作...
多项选择题PG3000RMX减薄机清洗台检查项目方法为（）。
A.检查喷水吹气位置是否正确 B.查看吸盘表面是否干净 C.工作时观察晶圆清洗后表面有无水汽残留 D.观察吸盘安装是否到位有无松动与找边SENSOR配合位置准确
离子风机点检加电状态方法为（）。A.用手接触风机外壳感觉无抖动现象B.目检电源线是否接插C.检查开关打开后是否...
多项选择题离子风机点检加电状态方法为（）。
A.用手接触风机外壳感觉无抖动现象 B.目检电源线是否接插 C.检查开关打开后是否工作 D.目检出风口是否有打火等异常
