单项选择题
A.电子振荡放电 B.离子自动放电 C.低电压弧光放电 D.双等离子电弧放电
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。A.砷化氢B.二硼化氢C.四氟化硅D.三氟化磷E.五氟化磷
多项选择题离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.四氟化硅 D.三氟化磷 E.五氟化磷
离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。A.中子源B.离子源C.电子源D.质子源
单项选择题离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
A.中子源B.离子源C.电子源D.质子源
早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。A.重离子加速器B.热扩散炉C.质子分析仪D.轻离子分析器
单项选择题早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
A.重离子加速器 B.热扩散炉 C.质子分析仪 D.轻离子分析器
