离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。A.中子源B.离子源C.电子源D.质子源

单项选择题离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。A.重离子加速器B.热扩散炉C.质子分析仪D.轻离子分析器

单项选择题早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。A.Cl2B.BCl3C.CO2D.H2

单项选择题（）的气体源中一般包含H⁺，C⁺，B⁺，Cl⁺，O⁺等离子。