PVD填孔性能的指标是台阶覆盖率。

Al膜反射率过高，会对光刻产生不利影响。

判断题Al膜反射率过高，会对光刻产生不利影响。

为了不与薄膜成分发生反应，溅射气体通常使用惰性气体。

判断题为了不与薄膜成分发生反应，溅射气体通常使用惰性气体。

大尺寸的晶粒有利于防止电迁移。

判断题大尺寸的晶粒有利于防止电迁移。