判断题
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Al膜反射率过高，会对光刻产生不利影响。
判断题Al膜反射率过高，会对光刻产生不利影响。
为了不与薄膜成分发生反应，溅射气体通常使用惰性气体。
判断题为了不与薄膜成分发生反应，溅射气体通常使用惰性气体。
大尺寸的晶粒有利于防止电迁移。
判断题大尺寸的晶粒有利于防止电迁移。
