刻蚀过程中聚合物形成的来源有（）。

掺杂后，退火的目的是（）。A.实现电激活B.修复损伤C.提高掺杂均匀性D.加大损伤

多项选择题掺杂后，退火的目的是（）。

常压的硅外延方法有（）。A.四氯化硅氢还原法B.三氯氢硅氢还原法C.二氯氢硅烷法D.硅烷热分解法

多项选择题常压的硅外延方法有（）。

刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）A.氧化B.离子注入C.光刻D.抛光

单项选择题刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）