冶金法制备高纯多晶硅与改良西门子法相比，前者的成本更低，但是电耗更多。

精馏是实现多级部分汽化和多级部分冷凝的实用技术。

判断题精馏是实现多级部分汽化和多级部分冷凝的实用技术。

甲硅烷常温下为气体，室温下就容易分解。

判断题甲硅烷常温下为气体，室温下就容易分解。

化学提纯时，中间化合物提纯到所需要的纯度后，在后续的还原工艺要求不需要很高。

判断题化学提纯时，中间化合物提纯到所需要的纯度后，在后续的还原工艺要求不需要很高。