刻蚀机的定期校准周期通常为（）。

提高刻蚀均匀性的关键在于（）。A.优化气体分布B.稳定温度和压力C.改进掩膜设计D.以上都是

单项选择题提高刻蚀均匀性的关键在于（）。

刻蚀过程中的刻蚀速率不稳定可能是由于（）。A.刻蚀气体流量波动B.温度不稳定C.压力变化D.以上都是

单项选择题刻蚀过程中的刻蚀速率不稳定可能是由于（）。

刻蚀机的操作培训重点在于（）。A.设备原理B.操作规程C.安全注意事项D.以上都是

单项选择题刻蚀机的操作培训重点在于（）。