填空题
三
硅锭号定义是：（）位。
填空题硅锭号定义是：（）位。
气体模式下，最大压力值（）；真空模式下，最大压力值（）。
填空题气体模式下，最大压力值（）；真空模式下，最大压力值（）。
硅材料中杂质一般有（）、（）、（）、（）四种存在形态。
填空题硅材料中杂质一般有（）、（）、（）、（）四种存在形态。
