单项选择题
A.离子注入 B.刻蚀 C.扩散 D.光刻
空气污染物按照处理性质来分：有（）。A.酸碱性气体B.有机性气体C.特殊毒性气体D.水蒸汽E.中性气体
多项选择题空气污染物按照处理性质来分：有（）。
A.酸碱性气体 B.有机性气体 C.特殊毒性气体 D.水蒸汽 E.中性气体
净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。A.一般排气系统B.特殊排气系统C.制程排气系统D.专用排气系统E...
多项选择题净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。
A.一般排气系统 B.特殊排气系统 C.制程排气系统 D.专用排气系统 E.排气排水系统
静电释放带来的问题有哪些（）。A.金属电迁移B.金属尖刺现象C.芯片产生超过1A的峰值电流D.栅氧化层击穿E....
多项选择题静电释放带来的问题有哪些（）。
A.金属电迁移 B.金属尖刺现象 C.芯片产生超过1A的峰值电流 D.栅氧化层击穿 E.吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面
