多项选择题

固态氮化硼扩散与液态硼扩散比较,其有如下的特点()

A.扩散效率高,更适于大批量生产
B.产品的合格率较高
C.设备复杂、操作麻烦
D.扩散后硅片的均匀性、重复性和表面质量都较好