注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）

掺杂后退火时间一般在（）。A.30~60分钟B.10~20分钟C.60~90分钟D.100~120分钟

单项选择题掺杂后退火时间一般在（）。

当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。A.最低掺杂剂量B.临界剂量...

单项选择题当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）A.CuB.PC.AgD.Au

多项选择题下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）