下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）

鸟嘴效应造成的不良影响有（）。A.有效栅宽变窄B.电流减少C.电容增加D.电阻增大

多项选择题鸟嘴效应造成的不良影响有（）。

消除鸟嘴效应的方法有（）。A.选择合适的掩蔽膜B.在氧化前，将窗口处的硅腐蚀掉深度，再进行局部氧化C.退火D....

多项选择题消除鸟嘴效应的方法有（）。

湿氧氧化采用的氧化水温是（）。A.95度B.90度C.80度D.75度

单项选择题湿氧氧化采用的氧化水温是（）。