化学气相沉积中，提高气体流速，可加快薄膜的沉积速率。

低温、高速的沉积往往有助于形成粗大甚至单晶结构的薄膜。

判断题低温、高速的沉积往往有助于形成粗大甚至单晶结构的薄膜。

当入射离子能量小于一定值时，不会发生溅射现象。

判断题当入射离子能量小于一定值时，不会发生溅射现象。

分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。

判断题分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。