判断题
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热氧化方法中水汽氧化比干氧氧化速度快。
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曝光前先要进行图形对准。
判断题曝光前先要进行图形对准。
电子束光刻不是先进的光刻技术。
判断题电子束光刻不是先进的光刻技术。
