问答题
由于显影时的变形和膨胀,负性光刻胶通常只有2μm的分辨率。 正性光刻胶。
列出并描述两种主要的光刻胶。
问答题列出并描述两种主要的光刻胶。
给出硅片制造中光刻胶的两种目的。
问答题给出硅片制造中光刻胶的两种目的。
列出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。
问答题列出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。