问答题
在VLSI中，为什么要采用Cu互连及多层金属化技术？
问答题在VLSI中，为什么要采用Cu互连及多层金属化技术？
什么是分辨率？如何提高分辨率？
问答题什么是分辨率？如何提高分辨率？
简要说明正胶和负胶的关光刻原理与特性。
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