问答题
第一步：恒定表面浓度的扩散（预沉积扩散Pre-deposition）；目的：控制掺入的杂质总量；......
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解释有限表面源扩散，列出有限表面源扩散的三种主要工艺参数，并说明其含义和主要影响因素。
问答题解释有限表面源扩散，列出有限表面源扩散的三种主要工艺参数，并说明其含义和主要影响因素。
列出恒定表面源扩散的三种主要工艺参数，并说明其含义和主要影响因素。
问答题列出恒定表面源扩散的三种主要工艺参数，并说明其含义和主要影响因素。
什么是恒定表面源扩散？其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响？其中哪一个影响最主要？为什么？
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