离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）

传统的平坦化技术有（）A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法

多项选择题传统的平坦化技术有（）

金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射

多项选择题金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）

铝的电迁移可能导致的结果是（）A.阳极短路B.阳极断路C.阴极短路D.阴极断路

多项选择题铝的电迁移可能导致的结果是（）