金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）

铝的电迁移可能导致的结果是（）A.阳极短路B.阳极断路C.阴极短路D.阴极断路

多项选择题铝的电迁移可能导致的结果是（）

影响显影工艺的因素有（）。A.曝光度B.显影液浓度C.显影方法D.工序的温度和时间容量

多项选择题影响显影工艺的因素有（）。

下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）A.脱水烘烤B.旋转涂布法涂HMDSC.气拍涂底法涂HDMSD.软烘

多项选择题下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）