问答题
描述RF溅射系统。
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什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
问答题什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
什么是阻挡层金属？阻挡层材料的基本特征是什么？哪种金属常被用作阻挡层金属？
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