问答题
硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物，是一种具有热稳定性的金属化合物，并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。......
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什么是阻挡层金属？阻挡层材料的基本特征是什么？哪种金属常被用作阻挡层金属？
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例举并讨论引入铜金属化的五大优点。
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解释铝已经被选择作为微芯片互连金属的原因。
问答题解释铝已经被选择作为微芯片互连金属的原因。
