问答题
① SRO层沉积（用来避免上层的氟离子往下渗入器件）；② HDP-FSG（掺有氟离子的硅......
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一般介电层ILD的形成由那些层次组成？
问答题一般介电层ILD的形成由那些层次组成？
何谓ILD？ IMD？ 其目的为何？
问答题何谓ILD？ IMD？ 其目的为何？
什么是 device breakdown voltage？
问答题什么是 device breakdown voltage？
