问答题
深紫外光刻胶的曝光宽容度是剂量变化范围在1%左右。
哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
问答题哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
如果光刻胶对光的吸收过多侧墙会怎样？
问答题如果光刻胶对光的吸收过多侧墙会怎样？
列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
问答题列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
