多项选择题
A.6寸 B.8寸 C.12寸 D.4寸
关于减薄环节绝对禁止的行为,描述正确的有哪些()。A.晶圆在料盒(晶舟)中装反装斜B.晶圆墨点厚度超过30μm...
多项选择题关于减薄环节绝对禁止的行为,描述正确的有哪些()。
A.晶圆在料盒(晶舟)中装反装斜 B.晶圆墨点厚度超过30μm C.操作员可以更改非操作参数 D.打开设备防护罩开机减薄
设备状态标识牌状态有()。A.正常生产B.停机待料C.维护保养D.维修调试
多项选择题设备状态标识牌状态有()。
A.正常生产 B.停机待料 C.维护保养 D.维修调试
减薄划片换刀的原因有()。A.伸长量到工艺要求B.刀痕太粗C.特殊晶圆D.刀刃砂眼
多项选择题减薄划片换刀的原因有()。
A.伸长量到工艺要求 B.刀痕太粗 C.特殊晶圆 D.刀刃砂眼