问答题
阻挡金属层是淀积金属或金属塞,用以阻止上下的材料互相混合。特性:1.有很好的阻挡扩散特性,结果分......
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列出并讨论引入铜金属化的五大优点。
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描述沟道效应。列举并简要解释控制沟道效应的三种机制。
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列举离子注入设备的5个主要子系统。
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