问答题
干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。
描述各同向性和各向异性刻蚀剖面,以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的?
问答题描述各同向性和各向异性刻蚀剖面,以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的?
列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。
问答题列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。
刻蚀的目的是什么?
问答题刻蚀的目的是什么?