温度对氧化速率常数A、B都有影响，压强只影响氧化速率常数B。

硅热氧化形成SiO2体积将增加约1倍。

判断题硅热氧化形成SiO₂体积将增加约1倍。

SiO2作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。

判断题SiO₂作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。

SiO2中5价的网络形成者可使结构强度增加，而3价的网络形成者可使结构强度减小。

判断题SiO₂中5价的网络形成者可使结构强度增加，而3价的网络形成者可使结构强度减小。