问答题
当反应气体流量超过一定数量时，溅射进入反应模式，溅射速率明显下降。而减少反应气体流量至原反转点时，反应模式并不返回到原溅......
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为什么反应溅射沉积速率低？
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磁控靶表面的磁场强度是多少？
问答题磁控靶表面的磁场强度是多少？
磁控溅射典型的工艺参数？
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