坩埚喷涂所用材料化学式为（）。

多晶铸锭过程中氧杂质主要来源（）。

填空题多晶铸锭过程中氧杂质主要来源（）。

M2硅锭生产判断熔化主要为（）耦丝。

填空题M2硅锭生产判断熔化主要为（）耦丝。

当前使用的氮化硅主要为（）晶相。

填空题当前使用的氮化硅主要为（）晶相。