判断题
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减薄作业时，可以用大吸盘减薄小晶圆。
判断题减薄作业时，可以用大吸盘减薄小晶圆。
操作员可以擅自更改非操作参数。
判断题操作员可以擅自更改非操作参数。
不同胶膜的晶圆禁止同时减薄。
判断题不同胶膜的晶圆禁止同时减薄。
