判断题
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在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）A.等离子体刻蚀>离子铣>RIEB.离子铣>...
单项选择题在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）
A.等离子体刻蚀>离子铣>RIEB.离子铣>等离子体刻蚀>RIEC.离子铣>RIE>等离子体刻蚀D.RIE>离子铣>等离子体刻蚀
异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）A.磁控溅射B.电子束蒸镀C.CBED.MBE
多项选择题异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）
A.磁控溅射B.电子束蒸镀C.CBED.MBE
关于ALD下列那种说法正确（）A.只能生长单组份纳米膜B.生成膜有良好的台阶覆盖特性C.可以精确控制膜厚到原子...
多项选择题关于ALD下列那种说法正确（）
A.只能生长单组份纳米膜B.生成膜有良好的台阶覆盖特性C.可以精确控制膜厚到原子尺度D.是通过控制前驱体的剂（流）量来精确控制膜厚的
