使用H₂-N₂RF电浆（plasma）来降低电阻，提高薄膜的致密性。

CVD TiN是TDMAT热分解来成膜的。

判断题CVD TiN是TDMAT热分解来成膜的。

Long through PVD可以提升沉积效率。

判断题Long through PVD可以提升沉积效率。

较高的深宽比，容易产生空洞。

判断题较高的深宽比，容易产生空洞。