问答题
薄膜：指某一维尺寸远小于另外两维上的尺寸的固体物质。好的台阶覆盖能力 、高的深宽比填隙能力（>3：......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
立式炉系统的五部分是什么？例举并简单描述。
问答题立式炉系统的五部分是什么？例举并简单描述。
热生长SiO2 – Si系统中的电荷有哪些？
问答题热生长SiO2 – Si系统中的电荷有哪些？
影响氧化速度的因素有哪些？
问答题影响氧化速度的因素有哪些？
