问答题
掺杂物、晶体晶向、压力、温度、水蒸气。
描述热氧化过程。
问答题描述热氧化过程。
说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
问答题说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
问答题二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
